下面就真空系统的真空阀设计要素作一简要讨论。 一般来说,应包括以下几点:
1、阀门的密封性能较好,不仅阀板关闭部分的漏气率小,而且阀体的漏气率也小;
2、阀门密封件具有较好的耐磨性,尤其是阀座、阀板密封件可重复使用,使用寿命长;
3、阀门的导通能力要大;
4、阀门材料应具有低饱和蒸气压、高耐腐蚀性和高化学稳定性;
5、超高真空阀门应耐烘烤,烘烤温度一般不低于150℃,Z高度为450℃;
6、阀门结构要简单,外形美观大方,开关轻便灵活,开关状态要标明,大阀门要有升降装置,操作方便,维修方便;
7、阀门零件加工工艺较好,表面处理工艺先进,阀门连接法兰应符合国家真空法兰标准的要求。