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真空腔体:不同真空泵在真空系统中的作用

2023-01-06 16:03:32

真空腔体:不同真空泵在真空系统中的作用



由于各种真空泵的性能可以满足抽真空容器的共同点,所以存在差异。因此,在选择真空系统中的泵时,明确泵所承担的工作任务是非常重要的。真空系统泵在各种工作领域中的功能可以总结如下。




1、系统中的主泵。




所谓主泵,就是直接对真空系统的真空容器进行抽真空,以获得满足工艺要求所需的真空度的真空泵。




2.初步抽气机




粗抽是指将真空系统的压力从大气压降低到另一个抽气系统可以开始工作的真空泵。




3.预泵




前级泵是指用于保持另一个泵的前级压力低于其高允许前级压力的真空泵。




4.维护泵




维护泵是指当真空系统的抽气量较小时,真空系统不能有效利用主前级泵。因此,在真空系统中增加了一个低抽速的辅助前级泵,以维持主泵或真空泵的正常工作,并保持真空容器所需的低压。


真空系统


5.低真空泵或低真空泵




粗抽和粗抽真空泵是指从大气中启动,降低被抽容器的压力,然后在低真空或粗真空压力范围内工作的真空泵。




6.高真空泵




高真空泵是指工作在高真空范围内的真空泵。


实验室真空系统

7.超高真空泵




超高真空泵是指工作在超高真空范围的真空泵。




8.增压泵




增压泵一般是指工作在低真空泵和高真空泵之间的真空泵,真空系统用于在中压范围内增加抽气系统的抽气能力或降低前级泵的抽气速率。实验室真空系统





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