真空探针台告诉你抽气管道是怎样设计的

2023-02-23 11:39:14

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真空探针台告诉你抽气管道是怎样设计的

因为我假设通量恒定，可见抽气速率(S工艺室为小值，泵入口处为大值(相当于泵速)

工艺室的抽气速度将低于泵入口的抽气速率，相差多少人取决于抽气管道的属性(比如长度和尺寸)尽量避免大大降低工艺室和泵入口之间的压力差就也可以使抽气速度造成的损失减到少。

很显然，抽气管道的属性来说其性能非常最关键。此时还需需要考虑其它外部因素：流导。

采用传统流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传达快速流动的能力方面”流导的计量其他单位是每单位时间的体积而且和抽气速率的其他单位完全相同。工艺室抽气速率(S可用抽气管道流导(C和应用泵速(Sp计算方法，如下所示所示：

S=Sp*C/Sp+C

当C远远大于Sp时，则S近似于为Sp当Sp远远大于C时，则S近似于为C

工艺室的抽气速度一直低于应用于泵速并且低于抽气管道中部件的小流导(一般为小直径)

实验室真空系统

某种层度上管道短而粗是好的

采用传统短的大直径抽气管道尽量避免提升管道流导是不错的做法，但只限于当抽气速度S逼近泵速(Sp极值的状况。

除此之外，进行减少管道直径(整体成本也会相应增加)来减少流导并不能够显著提升工艺室抽气速率；换而言之，假如抽气管道流导受限而且因为物理外部因素不能够减少，当(S逼近管道流导(C极值，一味进行减少应用于泵速来提升工艺抽气速度也是不经济的

那么说标准答案是啥呢？

管道尽可能多短

采用传统的管道直径起码相当于泵入口法兰的直径

尽量避免增加弯头数量

需要考虑管道流导(C和应用泵速(Sp一个变量的值大于另一个值的三四倍是不经济的做法实验室真空系统